ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه‌نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
Authors: not saved
Abstract:
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه‌نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی‌بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشته تنگستن) بر چگالی پلاسما بررسی گردید. با اعمال ولتاژ تخلیه الکتریکی 57 ولت و میدان مغناطیسی حدود 200 گاؤس و عبور جریان 18 آمپر از رشته کاتد، مقدار بیشینه 130 میلی‌آمپر برای جریان پلاسما در فشار 4-10×2/1 میلی‌بار اندازه‌گیری شد.
similar resources
ساخت چشمه پلاسمای کاتد داغ برای لایه نشانی به روش اسپاترینگ توسط پرتو یون
در این پژوهش یک نمونه چشمه پلاسمای کاتد داغ برای یک چشمه پرتو یون پهن به قطر 5 سانتیمتر طراحی و ساخته شد. این چشمه یون قابل استفاده در لایه نشانی به روش کندوپاش است. وضعیت تشکیل پلاسما در خلأ بالا (محدوه 3-10 تا 4-10میلی بار) و با اعمال میدان مغناطیسی توسط مجموعه آهنرباهای دائمی مورد مطالعه قرار گرفت. تأثیر پارامترهای کنترلی مختلف مانند فشار کار، پتانسیل تخلیه الکتریکی و جریان چشمه الکترون (رشت...
full textساخت و مشخصه یابی نانومیله های NiO رشدیافته توسط اسپاترینگ RF: مطالعه خواص اپتیکی وآب دوستی
در این پژوهش، ابتدا لایه های نازک نیکل به روش RF اسپاترینگ بر روی زیرلایه لام آزمایشگاهی تشکیل گردید و سپس لایه های اسپاتر شده، در دماهای مختلف در محیط اکسیژن پخت شدند. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) نوع ساختار را به صورت نانومیله های به قطر 35 نانومتر نشان می دهند. با بررسی خواص اپتیکی، محدوده گاف انرژی بینeV 87/3-77/3 مشخص شده؛ همچنین زاویه تماس آب با سطح نمونه های پخت نشده، در حدود...
full textپرس داغ اصلاح‌شده برای ساخت کامپوزیت‌های زمینه سرامیکی
در این مقاله، روشی جدید برای پرس داغ صفحات نازک معرفی می‌شود. روش قدیمی پرس داغ با وجود دستیابی به چگالی نزدیک به چگالی نظری، قیمت بسیار بالایی دارد. دستگاه معرفی‌شده در این مقاله، با حفظ مزیت دستیابی به چگالی نظری، قیمت ساخت و کارکرد پایینی دارد و برای انجام پرس تنها به یک کوره الکتریکی معمولی نیاز دارد. با وجود تمام این مزایا، محدودیت این دستگاه آن است که تنها قابل استفاده برای ساخت صفحات ناز...
full textساخت شیشه- سرامیک هادی یون لیتیوم با هدایت یونی بالا برای ساخت باتری‌های لیتیوم- اکسیژن و یون- لیتیوم تمام جامد
In this research, new lithium ion conductor glass-ceramics with NASICON-type structure (Li1+x+yAlxCryGe2-x-y (PO4)3, x+y=0.5) were synthesized using melt-quenching method and converted to glass-ceramics through heat treatment. Influence of addition of different concentrations of aluminum and chromium in LiGe2(PO4)3 glass-ceramic was investigated for ionic conduction improvement. Substitution of...
full textساخت و مشخصه یابی نانومیله های nio رشدیافته توسط اسپاترینگ rf: مطالعه خواص اپتیکی وآب دوستی
در این پژوهش، ابتدا لایه های نازک نیکل به روش rf اسپاترینگ بر روی زیرلایه لام آزمایشگاهی تشکیل گردید و سپس لایه های اسپاتر شده، در دماهای مختلف در محیط اکسیژن پخت شدند. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی (sem) نوع ساختار را به صورت نانومیله های به قطر 35 نانومتر نشان می دهند. با بررسی خواص اپتیکی، محدوده گاف انرژی بینev 87/3-77/3 مشخص شده؛ همچنین زاویه تماس آب با سطح نمونه های پخت نشده، در حدود...
full textMy Resources
Journal title
volume 9 issue 18
pages 41- 45
publication date 2013-08-23
By following a journal you will be notified via email when a new issue of this journal is published.
Hosted on Doprax cloud platform doprax.com
copyright © 2015-2023